ถนนซงมู่ตะวันออก หมายเลข 8 ชุมชนสวนอุตสาหกรรมหงซา ซือซาน เขตหนานไห่ ฝอซาน กวางตุ้ง จีน +86-18379778096 [email protected]
เมื่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังคงก้าวหน้าไปสู่ระดับความแม่นยำและความบูรณาการที่สูงขึ้น ระบบฝาครอบห้องสะอาดจึงเผชิญกับข้อกำหนดด้านวิศวกรรมที่เข้มงวดยิ่งขึ้น
นอกเหนือจากการควบคุมมลพิษแล้ว โรงงานเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ยังให้ความสำคัญเพิ่มขึ้นกับ:
โรงงานผลิตเวเฟอร์ โรงงานบรรจุภัณฑ์ และห้องปฏิบัติการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปดำเนินการอย่างต่อเนื่องและประกอบด้วย:
เนื่องจากเงื่อนไขเหล่านี้ ระบบผนังห้องสะอาดจึงคาดว่าจะต้องให้ฟังก์ชันการแบ่งพื้นที่มากกว่าเพียงแค่ขั้นพื้นฐาน
ภายใต้แนวโน้มนี้ แผงแซนด์วิชห้องสะอาดแบบหินบด (Rock Wool Cleanroom Sandwich Panels) กำลังกลายเป็นโซลูชันสำหรับการสร้างโครงสร้างปิดล้อมที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในโครงการห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เมื่อเปรียบเทียบกับอาคารอุตสาหกรรมทั่วไป ห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มักมีระบบไฟฟ้าความแม่นยำและอุปกรณ์บำบัดอากาศที่มีความเข้มข้นสูง
ในกรณีเกิดเพลิงไหม้ ประสิทธิภาพของระบบโครงสร้างปิดล้อมจะส่งผลโดยตรงต่อ:
ตามข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์ แผงดังกล่าวใช้วัสดุฉนวนกันความร้อนจากหินบดที่ไม่ติดไฟ และสามารถให้การป้องกันเพลิงได้นานสูงสุด 60 นาที
สำหรับโครงการเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการระบบห้องสะอาดที่มีคุณสมบัติทนไฟ โครงสร้างแกนกลางจากวัสดุหินบดมักได้รับความนิยมมากกว่าวัสดุฉนวนอินทรีย์แบบดั้งเดิม
ในโรงงานผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมสภาพแวดล้อมอย่างมั่นคงมีความสำคัญไม่แพ้กัน
ข้อกำหนดของผลิตภัณฑ์ระบุช่วงความหนาแน่นของหินใย (rock wool) ที่ 60–140 กิโลกรัม/ลูกบาศก์เมตร ซึ่งเป็นโครงสร้างที่ใช้กันทั่วไปในระบบฉนวนกันความร้อนสำหรับงานอุตสาหกรรมที่ต้องการประสิทธิภาพที่มั่นคง
ห้องสะอาด (cleanroom) มักทำงานภายใต้สภาวะควบคุมอุณหภูมิอย่างต่อเนื่อง โครงสร้างหินใย (rock wool) ความหนาแน่นสูงถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในระบบหุ้มอาคารอุตสาหกรรมเพื่อการฉนวนกันความร้อน
ระบบปรับอากาศ (HVAC) สายการผลิตแบบอัตโนมัติ และอุปกรณ์หมุนเวียนอากาศ สร้างเสียงจากการปฏิบัติงานอย่างต่อเนื่อง
แผงนี้อ้างอิงมาตรฐานด้านเสียง ISO 717/83 และ UNI 8270/7 จึงเหมาะสมสำหรับสภาพแวดล้อมห้องสะอาดในงานอุตสาหกรรมที่ต้องการควบคุมเสียง
ระบบแผงมีความกว้างที่มีประสิทธิภาพเท่ากับ 1150 มิลลิเมตร โดยสามารถปรับความยาวตามความต้องการได้
โครงสร้างแบบโมดูลาร์นี้รองรับการติดตั้งอย่างมีประสิทธิภาพ และการจัดวางผนังห้องสะอาดแบบยืดหยุ่นในโครงการเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่
แผงแซนด์วิชห้องสะอาดแบบหินบด (Rock wool) นิยมใช้ใน:
สำหรับแยกโซนการผลิตที่แตกต่างกัน
เหมาะสำหรับการรวมเข้ากับระบบปรับอากาศ (HVAC) และระบบสาธารณูปโภคที่ซ่อนอยู่
ใช้งานในทางเดินสำหรับการบำรุงรักษาและพื้นที่ให้บริการทางเทคนิค
ใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่ควบคุมได้ ซึ่งต้องการสภาวะภายในอาคารที่มีความเสถียร
เมื่อมาตรฐานห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ยังคงพัฒนาอย่างต่อเนื่อง วัสดุทำเปลือกหุ้มจึงถูกประเมินมากขึ้นในฐานะส่วนหนึ่งของระบบอุตสาหกรรมโดยรวม แทนที่จะเป็นเพียงวัสดุก่อสร้างธรรมดา
สำหรับผู้รับเหมาและทีมจัดซื้อวิศวกรรมระดับนานาชาติ มีข้อกำหนดหลายประการที่มักได้รับการจัดลำดับความสำคัญเป็นพิเศษ
| ข้อมูลจำเพาะ | ค่าปกติ | ความเกี่ยวข้องด้านวิศวกรรม |
|---|---|---|
| การป้องกันไฟ | 60 นาที | เหมาะสมสำหรับพื้นที่ห้องสะอาดที่มีการระบุค่าความต้านทานไฟไหม้ |
| ความหนาแน่นของวูล | 60–140 กิโลกรัม/ลูกบาศก์เมตร | เกี่ยวข้องกับคุณสมบัติด้านการดูดซับเสียงและความมั่นคงเชิงโครงสร้าง |
| ความหนาของแผง | 50–100 มม. | รองรับความต้องการฉนวนกันความร้อนที่แตกต่างกัน |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | 1150 มม. | รองรับการติดตั้งแบบโมดูลาร์ |
| มาตรฐานด้านเสียง | ISO 717/83, UNI 8270/7 | อ้างอิงสำหรับประสิทธิภาพการกันเสียง |
ในการก่อสร้างห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบัน ระบบห้องปิดล้อมมักถูกเลือกโดยพิจารณาจากความมั่นคงในการดำเนินงานระยะยาวและประสิทธิภาพด้านความปลอดภัยแบบบูรณาการ
